´1984年
京都大学工学部原子核工学科修士課程修了、日本電気(株)入
社
´LSI製
造プロセス技術開発(多層配線)に従事、プロジェクトマネージャー等
´1991年
CMP技
術に出会う SEMI
Technology Symposium講
演
´2002年
日本電気(株)退
社、(株)東
京精密入社
´執
行役員CMPグ
ループリーダー等
CMP装
置の開発、マーケティングを主導
´2006年
東京精密退社、ニッタハース(株)入
社
´技
術開発本部副本部長、テクニカルサポートセンター長等
´研
磨パッド、スラリーの開発、アプリケーション、マーケティングを主導
´2006年
プラナリゼーションCMPと
その応用技術研究会幹事 ~現在に至る
´2011年
ICPT(CMPの
国際会議)日本代表 ~現在に至る
´2013年
ニッタハース(株)退
社、(株)ディ
スコ入社
´2014年
九
州大学機械工学科にて博士学位(工学)取得
´学
位論文「CMPに
おける巨視的および微視的モデルに基づいた加工メカニズムに関する研究」
´2015年
(株)ディ
スコ退社、(株)ISTL
設立
10月 3級FP技能士資格取得
´2016
年 1月 3級知的財産管理技能士資格取得
3月 2級FP技能士資格取得
4月 2級知的財産管理技能士資格取得
2018
年 4月 中
小企業診断士登録 東京三多摩支部所属
所属学会:精密工学会、応用物理学会、Electrochemical Society
論 文、特許、学会発表、解説記事、講演多数
Akira
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